MEMS與傳感器

MEMS傳感器即微機電(diàn)系統（Microelectro Mechanical Systems），是在微電(diàn)子技(jì )術基礎上發展起來的多(duō)學(xué)科(kē)交叉的前沿研究領域。經過四十多(duō)年的發展，已成為(wèi)世界矚目的重大科(kē)技(jì )領域之一。它涉及電(diàn)子、機械、材料、物(wù)理(lǐ)學(xué)、化學(xué)、生物(wù)學(xué)、醫(yī)學(xué)等多(duō)種學(xué)科(kē)與技(jì )術，具有廣闊的應用(yòng)前景。截止到2010年，全世界有大約600餘家單位從事MEMS的研制和生産工作(zuò)，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在内的幾百種産品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。MEMS傳感器是采用(yòng)微電(diàn)子和微機械加工技(jì )術制造出來的新(xīn)型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體(tǐ)積小(xiǎo)、重量輕、成本低、功耗低、可(kě)靠性高、适于批量化生産、易于集成和實現智能(néng)化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可(kě)以完成某些傳統機械傳感器所不能(néng)實現的功能(néng)。